Veletrh Semicon Europe: TRUMPF zvyšuje efektivitu a přesnost výroby polovodičů
Společnost TRUMPF zajišťuje vyšší přesnost a efektivitu při výrobě polovodičů. Za tímto účelem vyvinula tato high-tech společnost novou generaci vysokofrekvenčních napájecích zdrojů s názvem TruPlasma RF Series G3. „Tento systém umožňuje výrobcům mikročipů dosáhnout stabilnějších plazmových procesů, čímž se snižují výrobní náklady a zvyšuje se kvalita čipů,“ říká Michael Ehinger, odpovědný za prodej elektronických řešení pro polovodičový průmysl ve společnosti TRUMPF. Společnost představuje novou řadu TruPlasma RF Series G3 na veletrhu Semicon Europa v Mnichově.
Energeticky efektivní výroba čipů
Modulární platforma nabízí výkonové úrovně od 2,5 do 10 kW a lze ji flexibilně integrovat do stávajících nástrojů. Uživatelé s ní mohou také snadno modernizovat starší nástroje. Zároveň těží z vyšší energetické účinnosti. Nová generace řady TruPlasma RF G3 spotřebovává o 20 procent méně energie a generuje méně odpadního tepla. To snižuje provozní náklady a chrání životní prostředí.
Monitorování v reálném čase zvyšuje kvalitu
Uživatelé mohou s TruPlasma RF Series G3 vyrábět čipy efektivněji, čímž snižují své výrobní náklady. Například při plazmovém leptání systém nepřetržitě měří reakci plazmy a v reálném čase upravuje energii. Tím je zajištěna stabilita výrobních procesů a konzistentní kvalita vrstvy na celé destičce. Integrované uživatelské rozhraní založené na prohlížeči umožňuje snadné a efektivní sledování a úpravy všech parametrů procesu během kvalifikace systému, aniž by bylo nutné instalovat další software.
Zdroj zprávy: Trumpf
